对比前两大类半导体材料，第三类半导体氮化镓因制程原料关系，易产生大量的差排缺陷，而差排的密度和种类，又是影响元件功能的一大要素。如何解析差排类型，并将差排的密度控制在一定范围，是第三类半导体发展的重要关键。…
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